ICP-MS 选购

安捷伦，半导体行业都用的，超痕量分析

应助工程师

样品中ppb的水平？如果是的话，LA很大可能性用不了，达不到这么低的检出限。

常规样品中许多典型杂质含量是PPB, 我们是需要用常规的消解，然后溶液进样分析
LA-ICP-MS主要是针对我们样品中的缺陷区域或者缺陷点（异物）分析。但是，问题是有时候缺陷点太小，很快就会被剥蚀完了（我想了解下，哪家MS在分析速度上有优势）

应助达人

缺陷点太小的话， 可能并不适合用激光来分析。
你们是做什么样品的缺陷分析，激光剥蚀的样品池一般都不是很大，对样品的大小、形状有限制，这方面也要了解一下。

缺陷太小，很快就会被剥蚀完了——显然是关注ICP-MS灵敏度，而非分析速度。TRA模式下每个核素积分5~8ms，足够了。