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尼高利FTIR-ATR测试单晶硅片上氮化硅薄膜，需要测空白硅片作为前值吗？

红外光谱（IR）

  • 请教各位大神，ATR附件测试单晶硅片上氮化硅薄膜的红外光谱，测出的红外光谱需要用空白硅片的光谱做前值来做差谱吗？
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    +关注 私聊

  • macyth

    第1楼2019/09/06

    感觉不用 Si应该没有吸收峰

0
    +关注 私聊

  • 孩他舅

    第2楼2019/09/08

    应助达人

    1，不需要2，si折射率4，只能用GE晶体才能测，3，ATR穿透深度1um左右

0
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