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聚焦离子束制备透射电镜样品的详细流程及参数

  • 小M
    2019/10/17
    分析者端木影之队
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 去年原创大赛发过一篇文章,以视频的形式展示了利用聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)切割制备透射电镜(Transmission Electron Microscope, TEM)样品的整个流程。值此一周年之际,再发一篇图文版的文章,更详细的介绍各个步骤的参数,给大家作参考。



    论坛不太方便发表格数据,所以我在word里编辑好了,以截图的形式发出来。



    表格中的一些缩写代表的含义如下:
    T:Tilt,R:Rotation,S R:ScanRotation;Regular:RegularCross-Section ,Cleaning:CleaningCross-Section;E:Easylift。
    另外还有一些其他的注意事项:
    1. 装样品和取样前,样品台的位置设置:X:60mm(靠门的最外)、Z:0、T:0;
    2. 每次改变束流值后要刷图并调一下聚焦;离子束观察时用30kv、7.7pA,可长开;其他束流太强,只能Snapshot刷图;
    3. 基本不用滚轮移动样品位置,而是移电子束/离子束使画面居中;
    4. 第2、4、7、9、12和14步等与“镀Pt”有关的步骤需要插、拔GIS的Pt dep;
    5. 第2、4、7步中保护层的XY取决于最终要保留的切片大小,表格中只是个示例,参考值;
    6. 本表所列参数适合切陶瓷(硬)材料,且焊在铜网爪侧边;不同材料或焊铜网爪顶端的相关参数都需做相应改变。
    注:本文只列出了一些关键的信息,对于熟悉或有一定了解FIB仪器的朋友,应该有很大的帮助,但是不了解FIB的人,可能面对这些介绍无法想象出来应该点软件界面的哪个位置。
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  • 小M

    第1楼2019/10/17

    应助达人

    水平有限,如有错误,敬请指正!

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  • 小M

    第2楼2019/10/17

    应助达人

    全是干货,不想写口水话。太干了,所以篇幅不长。

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  • 栀子花开

    第3楼2019/10/17

    应助达人

    如果加点水,估计可以写成万字文

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  • 夏天的雪

    第4楼2019/10/17

    应助达人

    浓缩的都是精华

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  • 小M

    第5楼2019/10/18

    应助达人

    那确实是这样的,流程做成视频都有18分钟,全展示成文字,估计真得上万字。

    栀子花开(qzxmsy) 发表:如果加点水,估计可以写成万字文

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  • wccd

    第7楼2019/10/21

    应助达人

    很好的干货,如果根据原创格式要求写作,版面会规范一下,过于简洁不利于读者充分理解文章内容。
    干货也是需要润一下的,否则太干了就枯燥了。

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  • 拉菲

    第8楼2019/10/29

    好!

    夏天的雪(bingwang228)发表:浓缩的都是精华

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  • Insm_206986f1

    第9楼2020/07/16

    楼主 请问你上面提到的电镜视频在哪里?

    小M(mitchell_dyzy)发表:水平有限,如有错误,敬请指正!

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