【原创】关于纳米颗粒用扫描电镜的能谱做分析的讨论

都知道，SEM电子被10kV左右的高压加速后，轰击样品表面，一般穿透深度可达上百纳米，对于原子序数低的样品穿透深度会更深。
对于单分散在某种衬底上的纳米颗粒，直接做 X射线元素能谱分析，我认为是没多大意义的，因为能谱仪探头收集的信息主要来自衬底，而不是纳米颗粒。
怎么测？简单的办法是，不要象测型貌一样分散的很开那种，要将较多的纳米颗粒涂敷到某种导电衬底表面上，比如Si衬底（测试元素不含Si时），样品层厚度最好达到几十微米厚或更厚，然后测能谱。如要求结果更准确些，则将较多的纳米材料进行压片处理，作成一个小药片似的致密块体，表面相对光滑那种，然后再测能谱，结果应该更理想些。压片处理是用压片机高压将粉末压制成柱状块体。

觉得你说的很有道理!
分析纳米级颗粒的能谱觉得没什么意义!
我在深圳一家公司做SEM,你是哪里的?

谢谢！学习了。

我一直是像楼主这么做。

扫描上做纳米颗粒最好用低电压,小束流. 这样空间分辨率会大大提高.

但低电压下很多元素的K线激发不出来, 只有L线或M线, 这样会与其他的轻元素的峰在低能端有重叠. 而且低电压下的X射线产额降低, 能谱的信号很比较弱, 计数率不够.

这是相互矛盾的. 因此低电压下的元素分析对能谱性能要求确实很高.

我觉得纳米颗粒做能谱偶然性很大！