仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
立即体验
APP内打开
回版面
评论
收藏
点赞
拍砖
举报
取消
发布
当前位置:
仪器社区
>
质谱
>
ICP-MS
>
帖子详情
【实战宝典】湿电子化学在集成电路制造中的用途有哪些?质量有什么要求?
小官人-闭关修炼中
2022/07/05
私聊
ICP-MS
问题描述:湿电子化学在集成电路制造中的用途有哪些?质量有什么要求?
解答:
湿电子化学品在集成电路制造中的用途主要有:
(1)
用湿法化学溶液、超纯净水以及研磨液等清洗或准备硅片;
(2)
用高能离子对硅片进行掺杂得到
p
型或
n
型硅材料;
(3)
淀积不同的金属导体层以及导体层之间必要的介质层;
(4)
生长薄的二氧化硅层作为
MOS
器件主要的栅极介质材料;
(5)
用等离子体增强刻蚀或湿法试剂有选择地去除材料并在薄膜上形成所需要的图形;
(6)
光刻工艺中需要对硅片涂覆光刻胶,再将电路图形转移到光刻胶上进而再用显影液显影;
(7)
用气体基团或液体试剂对硅片上没有光刻胶保护的地方进行等离子刻蚀或湿法刻蚀。
[12]
晶圆加工湿电子化学品用量结构
[13]
由于电子产品的制作过程中有极高的规格要求,细微的污染或是不纯净都会导致精细的半导体材料的成品率、电性能和可靠性受到严重的影响。随着对集成电路线宽的要求越来越密集,其对湿电子化学品的要求越来越高。
湿电子化学品质量要求
[14]
某
Fab
厂化学品要求
以上内容来自仪器信息网《
ICP-MS
实战宝典》
相关话题
1
【实战宝典】如何进行盐酸的分析?
2
【实战宝典】如何进行H2SO4分析?
3
【实战宝典】如何进行 TMAH分析?
4
【实战宝典】如何进行有机溶剂分析?
5
【实战宝典】什么是电子特气?
近期热榜
迎国庆送壕礼!十月发帖抢大疆云台
【官方邀请】高效液相色谱使用情况有奖调研
喜迎国庆!第十七届原创大赛超级原创日参赛奖励翻倍
丹纳赫四十周年寄语征集领大礼包
热门活动
【售后专场--招聘会】
第三届微课大赛投票进行中ing
猜你喜欢
最新推荐
热门推荐
更多推荐
57铁比56铁浓度还高,大家觉得会是什么原因
讨论
2011/07/28
【官人按】微波消解-ICP-MS测定煤矸石及粉煤灰中的As、 Hg、Pb、Cd、Cr、Mn、Ni、Co、Se元素
第十一届原创
2018/09/05
【分享】ICP-MS实践指南
2008/12/04
关于内标的请教
讨论
2015/11/06
关于有机溶剂增敏作用的问题
讨论
2014/10/23
【求助】杭州可以检测金属硅中杂质含量的公司?
2009/06/30
【求助】ICP-MS怎么定量测定全元素?
2012/10/18
【原创】你实验室ICP-MS法,用到管理监控标准样主要有哪些?
2011/05/04
求助:关于高纯分析试剂的选择
求助
2024/09/26
安捷伦ICP-MS 的介绍设备硬件的清洁维护及常见问题分析
分享
2024/09/25
大佬们,还是老生常谈的问题,内标法的LOD如何计算?
原创
2024/09/25
icp-ms 检测时,内标的响应强度一直增大,但是整个序列的漂移值很小,这是什么情况啊?
求助
2024/09/23
PE ICP-MS开了一下盖子炬管后对不准进样锥了
原创
2024/09/21
icpms测试水样,哪些环节会导致Ta污染呀
求助
2024/09/21
【求助】ICP-MS的信号值在测样的过程中突变
已应助
2024/09/19
微波和电热板前处理Al的结果差异很大
已应助
2024/09/19
气象色谱仪显示ALS 故障代码 153是什么情况
求助
2024/09/27
如果计量器具较小,校准标签贴不开怎么办?
求助
2024/09/26
试剂保质期
求助
2024/09/26
出峰时间和分子离子峰一样,二级质谱图不一样是同种物质吗
求助
2024/09/28
液相玻璃吸滤头
求助
2024/09/26
环境空气氮氧化物曲线斜率偏高怎么办
已应助
2024/09/27
安捷伦ZORBAX SB-C18柱使用时升压太快怎么解决呢
求助
2024/09/26
顶空进样气相色谱分析水中环氧乙烷
求助
2024/09/26
【实战宝典】什么是湿电子化学品?主要包括哪些?
分享
2022/07/05
关于设备使用记录需要怎么做?
已应助
2022/07/05
【实战宝典】如何进行体硅的分析?
分享
2022/07/05
被暂停认可的情况
分享
2022/07/05
【实战宝典】硅片表面元素如何分析?
分享
2022/07/05
【实战宝典】硅片需要进行哪些分析?
分享
2022/07/05
烧灰分的马弗炉要不要做期间核查
已应助
2022/07/05
【实战宝典】半导体用超纯水如何分析?
分享
2022/07/05
品牌合作伙伴
丹纳赫苏州基地 打工人的梦想
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器(上海)有限公司(PerkinElmer)
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁
举报帖子
执行举报
点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...