背散射能谱面扫物相定量

有一些软件可以实现通过像素点的不同原子比来区分物相，以下是几种常见的软件：
飞纳电镜 ChemiPhase 物相分析软件：这是一种专门用于物相鉴定和定量表征的软件。它可以结合扫描电镜背散射电子信号成像（BSE）和能谱（EDS 成分分析）数据，通过先进的统计分析来识别独特的物相。该软件能够为每个像素提供一个归属相的概率，帮助用户根据像素点的原子比等信息区分不同的物相，并给出各物相的成分、分布以及面积分数等信息，对于复杂样品的分析具有很好的效果。
Oxford Instruments 的 AZtec 软件：与牛津仪器的能谱仪（EDS）配套使用的软件。它具有强大的数据分析功能，可以对 EDS 面扫得到的数据进行处理和分析。在物相分析方面，能够根据不同像素点的元素组成和原子比等信息，辅助用户区分物相。该软件还具有多种数据可视化功能，方便用户直观地观察和理解分析结果。
FEI 的 EDAX 软件：FEI 公司的电镜配套的能谱分析软件。它可以对扫描电镜和能谱仪获取的数据进行综合分析，在物相分析方面具有一定的能力。能够处理背散射能谱面扫数据，根据像素点的原子比等特征来帮助用户区分不同的物相，并且提供丰富的数据分析和图像显示功能。
Bruker 的 Esprit 软件：布鲁克公司的能谱分析软件，在材料分析领域应用广泛。它可以对 EDS 数据进行深入分析，对于通过原子比来区分物相具有较好的支持。该软件具有灵活的数据处理和分析功能，能够满足用户在物相分析方面的多种需求。