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蚀刻材料金属和电介质材料蚀刻
基板最大尺寸 8英寸
产品产量 1片/次
源（气）: 注入式喷淋头式
卡盘单元卡盘通过冷却器冷却
基板背面He冷却
带夹具的机械晶片夹紧
电源偏置：RF功率Max.2kW@13.56MHz
ICP源：射频功率Max.3kW@13.56MHz
极限压力<5.0E-6Torr（TMP和干式泵）
压力控制摆阀，baratron压力计
负载锁定室极限压力：<5.0E-3Torr（干式泵或旋转泵）
气体输送SF6、CHF3、CF4、C4F8、BCl3、Cl2O2、Ar、He、，…
控制PC控制（UPRO软件）
可选静电卡盘，盒式装载锁
系统尺寸（宽*深*高）2050mm X 800mm X 1600mm
售后服务
1年
是
有
1次免费培训
3月1次
免费维修免费更换部件
2小时响应
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