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- 直径 4英寸 X 12片 直径 18英寸
- 20cm 考夫曼离子源
离子蚀刻机 20-M/NS-12
上海伯东 NS 进口离子蚀刻机 20-M/NS-12，适合大规模量产使用的离子刻蚀机
离子蚀刻机 20-M/NS-12 主要技术参数：
基片尺寸 | 直径 4英寸 X 12片 |
样品台 | 直接冷却 |
离子源 | 20cm 考夫曼离子源 |
电源 | WELL-5100(可更换为国内电源 |
上海伯东是日本NS离子蚀刻机中国总代理，NS 离子蚀刻机对磁性材料、黄金、铂和合金金属提供最佳蚀刻技术，很容易做各种材料的蚀刻，主要应用于薄膜磁头 (Thin film Magnetic Head)，自旋电子学 (Spintronics)，MR Sencer，微电子机械系统 (MEMS Micro-electromechanical Systems)，射频设备 (RF Devices)，光学组件 (Optical Component)，超导电性 (Super Conductivity)等。可依据客户实际需要，提供客制化服务。
NS离子蚀刻机主要优点：
干式制程的微细加工装置，使得在薄膜磁头，半导体元件， MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。
配置使用美国考夫曼公司制造的原装离子源。
射频角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。
基板直接加装在直接冷却装置上，所以可以在低温环境下蚀刻。
配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。
上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源，美国 HVA 真空阀门，Polycold 冷冻机，离子刻蚀机等。
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请登录我们网站或与市场部罗女士联系。
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