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- 200 mm
- 6inch
v 在喷涂法中，喷嘴将要涂抹的溶液喷在晶圆上。经过优化后的晶圆上方喷嘴移动路径可以实现在衬底上均匀的涂层。 喷涂所用的液体通常粘度极低，以确保形成细小的液滴
v 喷涂法即使在凹凸图形上也能形成均匀涂层，因此它是这种结构的首选方法。喷涂法还能喷涂方形的衬底
v 对起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工
基板尺寸最大直径为200 mm，方形最大边长为 6inch
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