1. 产品概述
立式/卧式管舟清洗机,如Bpure Series系列,采用先进的清洗工艺,能够高效、清洗各种石英管、舟、碳化硅管及其它石英材质的零部件,如石英板、点火炮、保温桶等。这些设备不仅适用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的清洗,还具备广泛的兼容性,能够满足不同工艺和材料的清洗需求。
2. 设备用途/原理
立式/卧式管舟清洗设备广泛应用于集成电路、功率半导体、化合物半导体等高科技领域,以及科研机构的实验室中。它们在这些领域中发挥着重要作用,确保了半导体器件和设备的生产质量和可靠性。
3. 设备特点
全自动清洗:设备采用全自动控制系统,操作简便,能够大幅度提高清洗效率,降低人工成本。
多种清洗工艺可选:设备提供浸泡式清洗与喷淋式清洗两种工艺可选,用户可根据实际需求选择合适的清洗方式。
一机多用:设备设计灵活,可兼容多种石英管、舟及工件的清洗,满足不同场合和工艺的需求。
自主研发控制系统:配备自主研发的控制系统,具有友好的人机交互界面,方便用户操作和维护。
自动配液系统:设备配备自动配液系统,换酸便捷,能够减少化学试剂的浪费,并降低操作风险。
分级安全互锁设置:设备设有分级安全互锁装置,确保设备在运行过程中的安全性和可靠性。
60天
1年
安装调试现场免费培训
相关产品