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【求助】如何解决样品充电现象

echozhu

2008/07/08

扫描电镜（SEM/EDS）

本人是新手，刚开始操作扫描电镜，在拍片时常常会出现一些图像亮度失常（无法正常调节亮度）或图像出现亮斑线的现象，经过自己看书，发现这是由于样品导电性不好，出现充电现象（charge-up)才导致的图像失常。想请教各位专家，如何有效解决这一问题？我看的是英文资料，有些地方不是特别懂，除了使样品镀金更均匀外，是否采取增大样品室气压，在低真空下扫描，减小入射电子电压，减小束斑大小（spotsize）等措施也能改善这一现象，希望各位专家们能就此为小弟加以解释，小弟不胜感激。

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echozhu 发表:本人是新手，刚开始操作扫描电镜，在拍片时常常会出现一些图像亮度失常（无法正常调节亮度）或图像出现亮斑线的现象，经过自己看书，发现这是由于样品导电性不好，出现充电现象（charge-up)才导致的图像失常。想请教各位专家，如何有效解决这一问题？我看的是英文资料，有些地方不是特别懂，除了使样品镀金更均匀外，是否采取增大样品室气压，在低真空下扫描，减小入射电子电压，减小束斑大小（spotsize）等措施也能改善这一现象，希望各位专家们能就此为小弟加以解释，小弟不胜感激。

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echozhu

第3楼2008/07/10

多谢各位的指点，但个人感觉放电现象是我拍照不久所遇到最大的问题，不知大家有没有详细一点的关于缓解放电现象的资料或论文，让我学习学习，小弟不胜感激。

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