扫描电镜（SEM/EDS）
syning90
第1楼2009/10/26
扫描电镜还装了离子泵？是LaB6灯丝的？前级泵工作正常吗？看看真空图
fengyonghe
第2楼2009/10/26
离子泵是不能停电的，你已经停了两个月，祝愿你能把它恢复好。
常怀千岁忧
第3楼2009/11/04
离子泵启动需要一定的启动压力，长时间断电导致泵内压力过高时无法启动。一般需要配合前级泵预抽和烘烤。建议跟供应商联系====发完之后才发现是古代的帖子了，算我没说
jzhx68
第4楼2009/11/05
离子泵的启动需要有一定的真空度，你可能由于停机时间过长，真空很低了，所以离子泵启动不起来。
guanjun19860820
第5楼2009/11/08
,2个月不开机啊？这个问题还是找厂家工程师吧！
zhuzhuhai
第6楼2013/02/17
我一大早来开机就出现了这样的问题，哎呀
lichunzhang
第7楼2013/03/23
可能首先得区分-是离子泵电源问题还是离子泵内部短路问题？
第8楼2013/03/23
2008年的事，LZ是如何解决的给大家说一说。
m520j
第9楼2014/03/31
我也遇到这种情况~~~不知道怎么解决~~~求方法~~~
canne_yswei
第10楼2014/08/19
真空期太低，离子泵启动要一定的真空度的！我的电镜是LEO-1530,离子泵启动要等到系统真空达到2*10-3pa才能启动！等分子泵慢慢抽吧！
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