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咨询2100离子泵的问题

jeffrylee

2017/12/28

透射电镜（TEM）

机器是日本电子2100，08年底验收的。近半年来发现真空系统，特别是离子泵不太正常。具体现象是：
1）不插入样品杆，镜筒真空在10^-4Pa，插入样品杆，可以到10^-5，工程师表示测角台可能漏气，这是问题之一；
2）每天测试结束ACD烘烤液氮，发现结束烘烤后IP泵起不来，如果放着不管，第二天早上也十有八九起不来。我的做法是等冷却后设置二次ACD烘烤，这样基本上可以保证第二天早上来的时候真空是正常的；
3）有的时候测试过程中，会突然听到有气动阀响，然后灯丝就灭了（高压没掉），注意到往往这个时候潘宁规PEG的真空示数会有突然的跳动（突然变大），过2分钟再加灯丝就没啥问题，这个问题有时候一天见一两次，有时候几个周碰见一次；
4）平时如与停电，关机后再开机，或者镜筒烘烤后，也经常发现离子泵无法正常启动，通常我会再额外设置一遍ACD烘烤，基本上能开起来，最终的真空度也OK。
5）最关键的一个问题，几周之前，因为电镜要搬家，先让能谱厂家拆掉了能谱，镜筒放了气，然后拆掉能谱后，离子泵就再也无法正常工作了，具体表现是指示灯不亮，手动开启后离子泵的电压仅有一点点（指针稍微动一下），潘宁规最多停留在绿色，但是示数要1000多，长短镜筒烘烤了有3次了，没啥效果。
各位高人帮忙分析一下，是不是离子泵需要更换了？这个东东好贵，而且订货也要好久。很郁闷啊。

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蓝莓口香糖

第1楼2017/12/28

真空很差的时候强行开离子泵可能会把泵烧掉的。

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jeffrylee

第2楼2017/12/31

IP的示数有一点，应该不会是烧掉了吧，版主大大？
蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:真空很差的时候强行开离子泵可能会把泵烧掉的。

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wshsun

第3楼2018/01/03

个人感觉不是离子泵的问题首先你现在拆掉能谱后估计是连扩散泵都抽不上去解决的办法就是你现在可能什么都用不了只能等着搬家完成或者是你让能谱公司再检查检查能谱的堵头看看是否漏气如果不漏气那就搬家完成后让工程师好好给你们检查维护一下

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jeffrylee

第4楼2018/01/03

wshsun(wshsun) 发表:个人感觉不是离子泵的问题首先你现在拆掉能谱后估计是连扩散泵都抽不上去解决的办法就是你现在可能什么都用不了只能等着搬家完成或者是你让能谱公司再检查检查能谱的堵头看看是否漏气如果不漏气那就搬家完成后让工程师好好给你们检查维护一下
多谢哥们！JEOL厂家工程师今天到，希望IP泵不要出问题就好。

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wshsun

第5楼2018/01/03

默默的问一句 JEOL给你们的搬家什么报价
jeffrylee(jeffrylee) 发表:

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