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扫描电镜大FOV下反而荷电更严重?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 扫描电镜拍摄导电性差的样品(不镀膜),其他条件不变,FOV越大,反而荷电效应越明显,这是为什么呢?
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  • fengyonghe

    第1楼2019/04/18

    应该是这样吧,单位面积上的贺电量不变,FOV越大贺电总量越大。

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  • p3328293

    第2楼2019/04/22

    猜想,是不是样品局部放电?

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  • SEMDriver

    第4楼2019/04/30

    感觉不是这样的,其他参数不变,FOV的改变只是放大倍率的改变,时间不变~~可是FOV越大,图像四周出现荷电越严重

    fengyonghe(fengyonghe)发表:应该是这样吧,单位面积上的贺电量不变,FOV越大贺电总量越大。

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  • SEMDriver

    第5楼2019/04/30

    Field of view

    maxwellar(maxwellar)发表:fov是啥?

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  • 伯爵山

    第6楼2019/07/30

    这个现象倒是一直没有注意过,FOV大,应该偏转输出增大,轴外像差变大,造成大FOV时的边界分辨率较差。一直没有关心过荷电的影响。楼主确定只是变化了FOV?其他条件什么都没变化/
    还有一种原因是,在楼主增大FOV之前,仪器一直 看的是小的FOV,此时该区域的电子一直在打,荷电积累较为严重。增大FOV后,应该是中间FOV会亮一点,外围FOV是暗一点。

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  • fengyonghe

    第7楼2019/08/01

    FOV越大,电子束扫描面积越小,使得荷电聚集在更小的视场面积内,被观察视场的荷电就更严重了

    SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:感觉不是这样的,其他参数不变,FOV的改变只是放大倍率的改变,时间不变~~可是FOV越大,图像四周出现荷电越严重

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  • SEMDriver

    第8楼2019/08/04

    FOV越大,电子束扫描的面积也越大,放大倍率越小的

    fengyonghe(fengyonghe) 发表: FOV越大,电子束扫描面积越小,使得荷电聚集在更小的视场面积内,被观察视场的荷电就更严重了

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  • SEMDriver

    第9楼2019/08/04

    改天给你发张图片就能看到这种现象了

    伯爵山(Ins_91e7d720) 发表:这个现象倒是一直没有注意过,FOV大,应该偏转输出增大,轴外像差变大,造成大FOV时的边界分辨率较差。一直没有关心过荷电的影响。楼主确定只是变化了FOV?其他条件什么都没变化/还有一种原因是,在楼主增大FOV之前,仪器一直 看的是小的FOV,此时该区域的电子一直在打,荷电积累较为严重。增大FOV后,应该是中间FOV会亮一点,外围FOV是暗一点。

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