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扫描电镜大FOV下反而荷电更严重？

SEMDriver

2019/04/17

扫描电镜（SEM/EDS）

扫描电镜拍摄导电性差的样品（不镀膜），其他条件不变，FOV越大，反而荷电效应越明显，这是为什么呢？

相关话题

fengyonghe

第1楼2019/04/18

应该是这样吧，单位面积上的贺电量不变，FOV越大贺电总量越大。

0

p3328293

第2楼2019/04/22

猜想，是不是样品局部放电？

0

maxwellar

第3楼2019/04/29

fov是啥？

0

SEMDriver

第4楼2019/04/30

感觉不是这样的，其他参数不变，FOV的改变只是放大倍率的改变，时间不变～～可是FOV越大，图像四周出现荷电越严重
fengyonghe(fengyonghe)发表:应该是这样吧，单位面积上的贺电量不变，FOV越大贺电总量越大。

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SEMDriver

第5楼2019/04/30

Field of view
maxwellar(maxwellar)发表:fov是啥？

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伯爵山

第6楼2019/07/30

这个现象倒是一直没有注意过，FOV大，应该偏转输出增大，轴外像差变大，造成大FOV时的边界分辨率较差。一直没有关心过荷电的影响。楼主确定只是变化了FOV？其他条件什么都没变化/
还有一种原因是，在楼主增大FOV之前，仪器一直看的是小的FOV，此时该区域的电子一直在打，荷电积累较为严重。增大FOV后，应该是中间FOV会亮一点，外围FOV是暗一点。

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fengyonghe

第7楼2019/08/01

FOV越大，电子束扫描面积越小，使得荷电聚集在更小的视场面积内，被观察视场的荷电就更严重了
SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:感觉不是这样的，其他参数不变，FOV的改变只是放大倍率的改变，时间不变～～可是FOV越大，图像四周出现荷电越严重

2

SEMDriver

第8楼2019/08/04

FOV越大，电子束扫描的面积也越大，放大倍率越小的
fengyonghe(fengyonghe) 发表: FOV越大，电子束扫描面积越小，使得荷电聚集在更小的视场面积内，被观察视场的荷电就更严重了

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SEMDriver

第9楼2019/08/04

改天给你发张图片就能看到这种现象了
伯爵山(Ins_91e7d720) 发表:这个现象倒是一直没有注意过，FOV大，应该偏转输出增大，轴外像差变大，造成大FOV时的边界分辨率较差。一直没有关心过荷电的影响。楼主确定只是变化了FOV？其他条件什么都没变化/还有一种原因是，在楼主增大FOV之前，仪器一直看的是小的FOV，此时该区域的电子一直在打，荷电积累较为严重。增大FOV后，应该是中间FOV会亮一点，外围FOV是暗一点。

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