好的,谢谢,气体是完全没有。设定值100,实际只有零点几……
memory光阴(Ins_91d3b22d) 发表:1、楼主期间换过柱子,检查一下方法设置里的柱子尺寸型号与实际使用的是否一致,如果不一致可能会出现这种情况。2、压力上不去,具体差距多少?设定值与实际值差多少?如果只差一丁点,而且不稳定,那可能是EPC控制有问题,没法精准控制流量了。3、还有考虑一下仪器进样口微漏,一般也不会报错,可以参考一下这篇文章https://bbs.instrument.com.cn/topic/7832065_1_3_2_1_2,对仪器做个进样口漏气检查。