超高真空磁控溅射系统

2012-03-12 17:23 下载量：39

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本资料主要介绍Smart PVD系统，此系统可以集成多种沉积技术于一体。实现电子束蒸发、磁控溅射、热蒸发等同时使用一个腔室。方面科研工作人员的薄膜研究。

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