化学机械抛光设备

2012-04-16 10:01  下载量:4

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化学机械抛光设备 CP-4是世界最通用和最先进的台式化学机械抛光设备(CMP),可以很好的满足您的研发需求。完全软件控制,可以对直径4英寸的晶圆和磁盘进行抛光。 CETR-CP-4可检测原位摩擦力,摩擦系数,温度,下压力,磨损,声发射等,可以模拟所有的参数,如速度,负载和流量,来模仿一个大的CMP系统。

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