ALD原子层沉积系统资料

2012-04-16 10:07  下载量：6

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美国SVT公司ALD原子层沉积系统 NorthStar ALD系统介绍： NorthStar ALD原子层沉积系统提供各种淀积方法，包括热淀积以及能量增强淀积。 每台设备可以提供多达8个先驱源管路以及一个热壁淀积腔，使其应用范围极为广泛。 设备的快速舱口盖或装载室（可选件）使样品操作快捷方便。 NorthStar ALD系统不但能跟其他设备连接起来，还能连接多种测量仪器。 原位测量工具以及RoboALD软件自动化系统提高了工艺的再现性。 可以直接升级至超高真空 提供工艺演示以及工艺培训服务 为潜在客户提供免费样品测试。

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美国SVTA公司中国办事处
银牌会员 | 第18年
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