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【求助】做能谱时样品有没有被穿透的可能性？

  • xuyan_love
    2008/09/18
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 做能谱分析时，如果样品过于薄，会有被穿透的可能性吗，导致测量结果不是该样品？
    谢谢各位高手了！
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    +关注 私聊

  • amdk7

    第1楼2008/09/18

    关键是你的样品的成分以及薄膜的厚度，在加速电压２５ＫｅＶ的情况下，电子的穿透深度和散射体积根据样品的成分不同而不同，原子序数大的穿透深度浅和散射体积小，原子序数小的穿透深度深和散射体积大，大概其穿透深度在20nm～２微米这样一个范围

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