向各位老师请教一下气体质量流量控制器（MFC）的问题。多谢！

这个不了解。
不过是否只是跟EPC、APC差不多的玩意？？

MFC是质量流量计，EPC是电子压力计，这两者不是同一回事。。

关于楼主的问题：

1）气体流速和压力直接成比例关系。为什么不同压力下还能得到同样流速？？
2）MFC是质量流量计，其信号和气体密度成比例。

应助达人

这个请查看一下附件的资料。一般是与流量控制器相联用的。

感谢各位英雄的回复。

多谢您的资料，我已经收藏了。

应助工程师

质量流量计我们用的是七星华创的，大概有几十个，各种量程的都有。还有就是质量流量计不专用，MFC的检定条件和实际使用条件是不一样的，好像检定条件是标况，你要是实际使用，比如设置1L，实际的肯定不是1L，这个需要你做一个某一温度下的标准曲线（温度影响不是很大，10度范围内都是可以使用的），就是设定值和实际值的对照，一般来说，比较粗糙的话，线性可以达到99.9%，可以试一试。

谢谢分享资料 收藏下

谢了，可是我怎么去测量这个MFC显示的“1L”的实际值呢，用啥仪器。。。。。

应助工程师

如果你要求的不是很精准的话，最简单的方法，你弄个瓶子，插上两根管，用排水法来测量吧。常用的排水法装置叫做马里奥特瓶，不知道你接触过没有。另外的方法就是你找一个你找一个经过检定的毛细管流量计，根据检定证书给出的流量方程和实际的压差来等效换算。不知道有木有用……可以再探讨