ICP-MS
砂锅粥
第1楼2020/04/13
你们是液态的还是气态的?液态的话取样可以考虑移液枪或者移液管,一般控制杂质上机浓度在ppb级别,如果杂质含量较高取样量就小一点,如果杂质含量较低取样量就大一点。
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第2楼2020/04/13
气态三氯化硼,用移液枪取会不会由于接触空气中的水分直接反应了?
那片海
第3楼2020/04/13
有没有相关标准?测气态样品用ICPMS还是比较少的吧
第4楼2020/04/13
有标准,《GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法》,将气体通入水中,然后检测金属;核心问题是三氯化硼的取样量以及硅烷如何取样?
第5楼2020/04/13
气态你能控制通入水里的量吗?如果可以的话通入后三氯化硼的浓度已知,就可以定量取三氯化硼溶液进行测试(如有需要进行稀释、加酸之类的)。
第6楼2020/04/13
气态的话通入水里的量是按称重法,前后重量变化得出;主要是大概的浓度还是存疑,怕浓度过高有基体效应,浓度过低数值不准确。
第7楼2020/04/13
那就先试试,可以用加标方法确认是否有基体效应和准确性。毕竟不同厂家甚至同厂家不同批次的产品杂质含量都不一样。
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