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喷金装置上的抽真空的机械泵冒黑烟怎么回事呀？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 昨天给样品喷金的时候发现离子溅射仪的真空上不去，在一看机械泵出气口开始冒黑烟，请问是怎么回事？
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  • sunnysky

    第1楼2006/01/06

    真空系统有漏，机械泵在抽大气

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  • daqiang

    第2楼2006/01/06

    谢谢，确实是由漏气的地方，找到原因了。一个橡胶垫片掉出来了

    sunnysky 发表:真空系统有漏，机械泵在抽大气

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  • 驰奔

    第3楼2009/11/26

    经验，判断准确！

    sunnysky(sunnysky) 发表:真空系统有漏，机械泵在抽大气

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  • agmlzc

    第5楼2009/12/01

    漏气啦 分析正确

    daqiang(daqiang) 发表:昨天给样品喷金的时候发现离子溅射仪的真空上不去，在一看机械泵出气口开始冒黑烟，请问是怎么回事？

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