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喷金装置上的抽真空的机械泵冒黑烟怎么回事呀?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 昨天给样品喷金的时候发现离子溅射仪的真空上不去,在一看机械泵出气口开始冒黑烟,请问是怎么回事?
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  • sunnysky

    第1楼2006/01/06

    真空系统有漏,机械泵在抽大气

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  • daqiang

    第2楼2006/01/06

    谢谢,确实是由漏气的地方,找到原因了。一个橡胶垫片掉出来了

    sunnysky 发表:真空系统有漏,机械泵在抽大气

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  • 驰奔

    第3楼2009/11/26

    经验,判断准确!

    sunnysky(sunnysky) 发表:真空系统有漏,机械泵在抽大气

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  • agmlzc

    第5楼2009/12/01

    漏气啦 分析正确

    daqiang(daqiang) 发表:昨天给样品喷金的时候发现离子溅射仪的真空上不去,在一看机械泵出气口开始冒黑烟,请问是怎么回事?

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