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1. 产品概述
Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统
2. 设备用途/原理
Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统，多种材料膜层工艺能力，低损伤，高深宽比填充能力，独立工艺腔室，多可支持 6 个工艺模块，优异的温度，颗粒控制能力，配置灵活、大产能、低运营成本。
3. 设备特点
晶圆尺寸 6、8 英寸，适用材料 银、钨化钛、金、铂、钛、氮化钛、铝、铬等，适用工艺 倒装工艺、金属电等，适用域 新兴应用、科研、化合物半导体。
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
8英寸通用物理气相沉积系统信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于 8英寸通用物理气相沉积系统报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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