扫描电镜的性能对能谱有多大的影响？

电镜的好坏对能谱的性能当然有影响了。因为能谱是利用了电镜的电子能量信号。再就是如果对微区分析也有影响。倍数低，可以观察和测量的区域范围就大。不过要是做一般的分析影响不会太大，比如粉末或固体样品中的元素成分。所以的看具体情况了。

放大倍数越大，SEM图像越清晰，得到的能谱越好，越接近真实的数据

这个观点值得探究

如果电镜只是图像倍数不太高的话，对能谱分析不会有太大的影响。X射线分析的空间分辨率对于钢铁材料来说大约为1微米，用太高的放大倍数做能谱分析没有什么意义。
如果电镜性能不是太好，能谱配个一般的就行了，不必追求太高的性能、以及不常用的功能。

不是吧！我们的电镜做eds时，最多只能到3000倍，工程师也说过做eds只能到几千倍

是啊，我了解的情况是：放大倍数和能谱仪的效果并没有什么必然联系，但如果放大倍数太高，会使得测试的局部的成分分析没有什么代表性，当然看你的需求了。
关键是要把电镜的束斑降下来，否则会对能谱的计数率又不好的影响。当然，束斑大了，同样清晰的图像的倍数必然就会降下来了。

楼上说得很对. 而且5000倍下做能谱其实是很合适的. 放大倍数太高的话, 由于能谱的空间分辨率一般是几个微米左右, 打能谱的意义其实也不是太大了.

我还见过一个钢铁企业的Kyky电镜上配了进口的能谱, 一样能够满足其需求. 因为他们的常用放大倍数就是几千倍.